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磁控溅射制备氮化铜薄膜的结构与性能分类索引数据信息

ISBN：9787517074397
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出版社：中国水利水电出版社
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TAG：材料科学 / 材料物理 / 材料工程 / 微电子技术 / 氮化铜薄膜 / 磁控溅射技术 / 薄膜结构 / 薄膜性能
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