微纳米加工技术及其应用
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内容简介：
《微纳米加工技术及其应用(第3版)》集作者多年来的实践经验与研究成果，并结合近年来国际上的最新发展，综合介绍了微纳米加工技术的基础，包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、扫描探针加工技术、微纳米尺度的复制技术、各种沉积法与刻蚀法图形转移技术、间接纳米加工技术与自组装纳米加工技术。对各种加工技术的介绍着重讲清原理，列举基本的_丁艺步骤，说明各种工艺条件的由来，并注意给出典型的工艺参数；充分分析了各种技术的优缺点及在应用过程中的注意事项；以大量图表与实例说明各种加工方法，避免烦琐的数学分析；并以专门一章介绍了微纳米加工技术在现代高新技术领域的应用，演示了如何灵活应用微纳米加工技术来推动这些领域的技术进步。
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孙***夏：
( 2024-12-29 14:45:14 )
中评，比上不足比下有余
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用户1724682706：
( 2024-08-26 22:31:46 )
建议增加书签和注释功能。
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用户1722522079：
( 2024-08-01 22:21:19 )
优质的期刊资源，多格式设计提升阅读体验，推荐下载。
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用户1745045889：
( 2025-04-19 14:58:09 )
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用户1720567073：
( 2024-07-10 07:17:53 )
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