精密和超精密机床精度建模技术
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内容简介：
精密和超精密加工技术。
书籍目录：
第一章：精密和超精密机床几何精度建模理论和方法
第二章：精密和超精密机床精度模型和应用
第三章：精密和超精密加工刀具及加工表面形貌建模技术
第四章：基于激光干涉仪的精密和超精密机床误差检测与评价
第五章：基于模型的精密和超精密虚拟加工技术
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