真空科学与技术丛书
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内容简介：
《真空镀膜》是本着突出近代真空镀膜技术进步，注重系统性、强调实用性而编著的。全书共11章，内容包涵了真空镀膜中物理基础，各种蒸发源与溅射靶的设计、特点、使用要求，各种真空镀膜方法以及薄膜的测量与监控，真空镀膜工艺对环境的要求等。《真空镀膜》具有权威性、实用性和通用性。
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( 2024-11-30 21:31:31 )
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( 2025-03-28 15:27:29 )
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